1.基本信息：

2.故障分析结果

2.1故障信息：

1、故障现象为设备的控制系统有48V直流输出，分子泵接到系统上错误报警显示。

2、分子泵TC脱离开系统后，设备系统48V输出正常，系统无故障报警代码。

2.2机械部分：

1、导油柱发黑，油棉有污染。

2、更换新TC后，分子泵的电流不稳定，波动厉害。

3、泵腔内部有轻微介质污染。

2.3电器部分：

1、通电后LED灯都不亮，有48V直流输入，但是接DCU后黑屏。

2、判断驱动器烧坏。

3.分析结论：

1、TC驱动器烧坏，需更换新TC或维修。

2、需要做维修保养。

4.保养与建议：

1、更换新的TC驱动器。

2、定期更换油棉和轴承座，清洁泵腔。

3、马达及轴承如正常使用，建议保养时间为17000H（两年）一次。

4、分子泵切忌掉入异物，建议定期检查并清洁滤网。

5.检测信息：

更换TC	分子泵拆解
转子等拆解	检查是否内漏
保养后指标	装机

结果：

1. 分子泵转速稳定，电流不波动。

2. 更换TC后，分子泵正常运转。

3. O圈密封测试，极限好于5*10-7mbar.

4. 现场装机测试后，系统运转正常。