1.基本信息：

2.故障分析结果

2.1.故障信息：

1、故障现象为开机启动泵组后，分子泵转速迟迟上不去。

2、前级泵MVP015入口压力高，在90mbar左右持续跳动，无法进入分子泵正常启动压力。

2.2.机械部分：

1、无前级泵组底部弹簧，无前级泵底脚锁紧螺栓，排气口涂大量密封胶

2、前级泵拆解后，隔膜泵进气端盖有膜片残胶，内部有工艺介质沉积，泵腔有杂质残留

3、分子泵油棉内润滑油外漏太多

4、放气阀密封垫片，前级泵排气口垫片等密封面损坏

2.3.电器部分：

1、控制面板运行正常。

2、电源控制器正常

3.分析结论：

1、前级泵进气端面有残胶，容易残留水汽，密封垫片损坏，有漏气

2、前级泵真空上不去，分子泵润滑油外漏太多，容易造成后续润滑不足，减少分子泵使用寿命。

4.保养与建议：

1、处理膜片残胶，超声波清洗膜片密封和进排气端盖

2、更换损坏的密封垫片

3、清洁分子泵油腔并更换油棉，导油棒和密封圈。

4、提供减振弹簧和锁紧螺栓

5、建议每年做标准维护保养，不私自拆解泵组。

5.检测信息：

分子泵润滑油外漏	隔膜泵进排气端盖有残胶
膜片表面有杂质残留	泵腔内部检测
膜片表面有杂质残留	无减振弹簧和锁紧螺栓
更换油棉，导油棒，密封圈	检测合格
前级泵维修后检测压力2.2mbar	泵组检测压力8.7*10-7mbar (泵组启动十分钟内结果)

结果：

1.    前级泵满足出厂指标5mbar及以下。

2.    分子泵可以顺利达到满速，分子泵从满速到8.7*10-7mbar用时4分钟，抽空时间越久，真空度越高。

3.    提供弹簧和螺栓。