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普发真空泵油 Pfeiffer oil

普发真空为旋片泵提供不同的泵油（真空油）。通过使用适合于您工艺的泵油，可以显著提高泵的使用寿命。单一矿物油可覆盖多种应用，例如使用空气或惰性气体以及水蒸气的泵。复合蒸馏矿物油虽然可用于高要求的应用中，但是会造成化学腐蚀或等离子体离化。它适用于温度低于 120 °C 的情况。全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性，适用于使用强腐蚀化学品的工艺，例如半导体和薄膜工业，以及氧气含量大于 21 % 的介质。

矿物油是为旋片泵的腐蚀性版本设计，由于使用矿物油，工作液成本相对较低。

普发真空全氟聚醚 (PFPE) 惰性工作液，可用于极强腐蚀性的工艺中。PFPE 工作液必须单独订购。

类别	油品	选择字段	可达到的最终压力 [百帕]	订单号	用于泵类型	适用范围
用于 50 Hz 运行的标准矿物油	A120	A120，烃油，2 L	< 3 · 10-3	68099	Pascal SD	适用于一般用途、非腐蚀性气体、低温启动的烃油
	A120	A120，烃油，56 L	< 3 · 10-3	10991	Pascal SD	适用于一般用途、非腐蚀性气体、低温启动的烃油
	P3	P3，矿物油，0.5 l	< 1 · 10-3	PK 001 136 -T	Pascal SD Hena DuoLine	适用于泵送空气、惰性气体和稀有气体的标准应用适用于高运行温度最高 95 °C 时使用极低的蒸气压，可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa
		P3，矿物油，1 l	< 1 · 10-3	PK 001 106 -T
		P3，矿物油，5 l	< 1 · 10-3	PK 001 107 -T
		P3，矿物油，20 l	< 1 · 10-3	PK 001 108 -T
		P3，矿物油，200l	< 1 · 10-3	PK 001 110 -T
用于 60 Hz 运行的标准矿物油	A119	A119，烃油，1 L	3 · 10-3	103855	Pascal C1	通用矿物油，非腐蚀性气体
	P3	P3，矿物油，0.5 l	< 1 · 10-3	PK 001 136 -T	Pascal SD Hena DuoLine	适用于泵送空气、惰性气体和稀有气体的标准应用适用于高运行温度最高 95 °C 时使用极低的蒸气压
		P3，矿物油，1 l	< 1 · 10-3	PK 001 106 -T
		P3，矿物油，5 l	< 1 · 10-3	PK 001 107 -T
		P3，矿物油，20 l	< 1 · 10-3	PK 001 108 -T
		P3，矿物油，200l	< 1 · 10-3	PK 001 110 -T
含抗乳化剂的矿物油	A102	A102，烃油，2 L	3 · 10-2	10996	Pascal C1	适用于水和有机酸蒸汽泵吸的烃油冷冻干燥
		A102，烃油，5 x 2 L	3 · 10-2	68853	Pascal C1
		A102，烃油，56 L	3 · 10-2	10987	Pascal C1
	A111	A111，烃油，2 L	1 · 10-2	64655	Pascal C1	适用于高压和高温的烃油
	A111	A111，烃油，5 x 2 L	1 · 10-2	68854	Pascal C1	适用于高压和高温的烃油
含抗氧化添加剂的双蒸馏矿物合成油	A121	A121，烃油，1 L	3 · 10-3	102724	Pascal C1	适于高压，高温，高应变的矿物油
双蒸馏矿物油	A200	A200，蒸馏烃油，19 L	2 · 10-3	68696	Pascal	适用于低回流和高耐化学性的蒸馏烃油
	A300	A300，白矿物油，19 L	5 · 10-3	68892	Pascal	白色矿物烃油，高度耐化学腐蚀，适用于泵吸路易斯酸、卤素、......
	A300	A300，白矿物油，1 L	5 · 10-3	68890	Pascal	白色矿物烃油，高度耐化学腐蚀，适用于泵吸路易斯酸、卤素、......
	A400	A400，1 L	1 · 10-2	125895	Pascal 2021HW	水蒸气容量高，冷冻干燥
全氟聚醚 (PFPE，泵抽速< 20 m³/h）	A113	A113，全氟聚醚油，0.5 L	5 · 10-3	64657	Pascal 2010/2015/2021 C2	适用于氧气和高度腐蚀性气体泵吸的全氟聚醚油等离子蚀刻
	A113	A113，全氟聚醚油，2.5 L	5 · 10-3	64657	Pascal 2010/2015/2021 C2	适用于氧气和高度腐蚀性气体泵吸的全氟聚醚油等离子蚀刻
	F4	F4，全氟聚醚，0.25 l	< 1 · 10-3	PK 005 885 -T	DuoLine MC	适用于泵出氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、 BF3、HF、PO3和氟适用于高运行温度最高 120 °C 时使用适用于具有 < 20 m3/h 抽吸能力的泵极低的蒸气压，可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa
		F4，全氟聚醚，0.5 l	< 1 · 10-3	PK 005 886 -T
		F4，全氟聚醚， 1 l	< 1 · 10-3	PK 005 887 -T
		F4，全氟聚醚， 5 l	< 1 · 10-3	PK 005 888 -T
		F4，全氟聚醚，20 l	< 1 · 10-3	PK 005 889 -T
全氟聚醚 (PFPE，泵抽速>20 m³/h）	A113	A113，全氟聚醚油，0.5 L	5 · 10-3	64657	Pascal 2010/2015/2021 C2 DUO 35C/65C,DUO65MC	全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性，适用于使用强腐蚀化学品的工艺，例如半导体和薄膜工业，以及氧气含量大于 21 % 的介质。等离子蚀刻
全氟聚醚 (PFPE，泵抽速>20 m³/h）	A113	A113，全氟聚醚油，2.5 L	5 · 10-3	64659	Pascal 2010/2015/2021 C2 DUO 35C/65C,DUO65MC
二酯	D1	D1 油，0.5 l	< 5 · 10-2	PK 005 881 -T	HeptaDry Pascal C1	适用于高运行温度最高 120 °C 时使用极低的蒸气压，可实现的极限压力 < 5 · 10-2 hPa
		D1 油，1 l	< 5 · 10-2	PK 005 875 -T
		D1 油，5 l	< 5 · 10-2	PK 005 876 -T
		D1 油，20 l	< 5 · 10-2	PK 005 877 -T
		D1，油，200 l	< 5 · 10-2	PK 005 879 -T